Список разделов Flyback.org.ru » Практическое применение HV » источник питания для распылительного магнитрона
Тему сейчас просматривают - зарегистрированных: 0, скрытых: 0 и гостей: 0
Зарегестрированные - Нет
тема: источник питания для распылительного магнитрона
Ответить с цитатой

logic777
 


есть такое устройство- магнетрон.
но не тот что в микроволновках а устройство для напыления проводящих пленок в вакууме.

http://glass-coatings.narod.ru/Manuals/MKE95-100.pdf
как пример такого устройства.

возникла необходимость сделать источник переменного высокочастотного тока.

есть идея сделать импульсный источник с частотой 30-70 кГц без выпрямителя.

параметры следующие.
напряжение холостого хода 1000В

при зажигании магнетронного разряда напряжение лежит в диапазоне 300-700В

средняя мощность примерно 500Вт

защита от кз(точнее от зажигании дуги)
дабы источник выключался на некоторое время (порядка периода колебаний) и снова включался в режим ХХ(тк дуга к тому моменту потула.) или что-то в таком духе...


хотелось-бы узнать что общественность высоковольтная посоветует по данному вопросу Smile
тип схемы\умные мысли\источники в которых такое рассматривалось\ в идеале схему\описнаие сходного устройства смех

Добавлено: Thu Jun 24, 2010 7:33 pm
Ответить с цитатой

AlexDark
CyberGoth


Полумост с защитой по току. Или пушпул если надо низковольтное питание.

Добавлено: Thu Jun 24, 2010 8:41 pm
Ответить с цитатой

Abramov
 


А что вы напылять собрались? Металл? Тогда нужен источник ПОСТОЯННОГО тока со стабилизацией тока.

Добавлено: Thu Jun 24, 2010 9:27 pm
Ответить с цитатой

MEL
 


А кстати про напыление, в установке точно должна быть переменка? В микросхемотехнике подложка, анод, катод, испаритель, высокая степень вакуума, и 100% постоянка.

Добавлено: Thu Jun 24, 2010 9:53 pm
Ответить с цитатой

Abramov
 


Ну я и говорю. Переменка для диэлектриков, и то там мегогерцы надо (обычно 13.6 МГц положено).

Добавлено: Thu Jun 24, 2010 10:06 pm
Ответить с цитатой

logic777
 


не все так просто.
постоянный ток это хорошо, но возможны траблы в виде дуги. и нельзя повышать ток выше опрелеленного.

используя переменное напряжение указаного диапазона частот возможно подавать существенно большие токи.
подобная схема работает пол периода(с этим можно бороться но не суть) но возникновение дуги не происходит. тк она просто не успевает образоваться. точнее можно существенно увеличить ток(мощность\скорость распыления) а в противофазе электроны хорошо чистят распыляемую мишень от загрязнения.

кроме того существенно улучшается условие пробоя и уменшается рабочее давление.


AlexDark благодарю
питание от сети.
а на постоянном токе и так работаю. вот и возникла идея попробывать переменку.

а что до мегагерцовых частот то отдельная песня и к данному случаю не имеет отношения.



буду благодарен за дельные советы именно по источнику.

к примеру как защитить вторичку. всмысле ее нагружаем на оч стремную нагрузку.
не будет ли бешенных выбросов и тд.

Добавлено: Thu Jun 24, 2010 10:15 pm
Ответить с цитатой

Abramov
 


Если нет выпрямителя с фильтром - регулировать ток ШИМ будет проблемно. IMHO.
Нужно будет балластное сопротивление. Или крутить питание самого полумоста. Можно ещё транс с падающей характеристикой сделать. Типо с шунтом.

Добавлено: Thu Jun 24, 2010 10:33 pm
Ответить с цитатой

logic777
 


короче полная аналогия с обычным блоком на 50Гц трансе.

запускаю от латра во вторичке баластник и транс с зазором и первичка и вторичка на разных кернах.

Добавлено: Thu Jun 24, 2010 10:41 pm
Ответить с цитатой

Abramov
 


А тогда может и 50Гц сойдёт ? смех

Добавлено: Thu Jun 24, 2010 11:01 pm
Ответить с цитатой

MEL
 


Если правильно понял, то нужнен постоянный пульсирующий ток - импульсы. Сварочник Бармалея (косой мост) в помощь, стабилизация тока есть, ну вторичку само собой перемотать и выпрямить, там конечно плотности тока приличные для сварки, а для этого устройства его будет более чем достаточно.

Добавлено: Thu Jun 24, 2010 11:34 pm
Ответить с цитатой

logic777
 


нет. нуже ПЕРЕМЕННЫЙ ток ВЫСОКОЙ частоты(обычно диапазон 20-100кГц)

в разделе "схемы" нашел ряд схем полумостовых. какие из них наиболее подходят для мощьносмти примерно 500Вт

плюс вопрос намотки транса. ведь строчнк не идет.
толи брать фериты с строчников толи другие.
кто-что посоветует.


я тоже думал о модификации бармалея. благо щас его собираю.

истользовать ту управу с тт на первичке. вообщем думаю Smile

Добавлено: Thu Jun 24, 2010 11:48 pm
Ответить с цитатой

AlexDark
CyberGoth


феррит от строчника взять, и намотать - там будет меньше полутысячи витков.

Добавлено: Thu Jun 24, 2010 11:57 pm
Список разделов Flyback.org.ru » Практическое применение HV » источник питания для распылительного магнитрона
    Просмотр темы целиком



Лицензионное соглашение

(c)Flyback.org.ru
Российское общество любителей высоких напряжений.
Использование материалов с данного сайта и форума возможно только с разрешения администрации.